箱式 真空等離子清洗機NE-PE60F
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

                    NE-PE60F真空箱式等離子清洗機通過(guò)PLC提供穩定的過(guò)程控制,設備運行的實(shí)時(shí)參數通過(guò)觸摸顯示屏直觀(guān)呈現,軟件控制系統,操作簡(jiǎn)單,能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線(xiàn),并根據工藝不同進(jìn)行設定、修改、存儲、調用;軟件自帶分析功能,能對工藝曲線(xiàn)進(jìn)行分析。軟件控制系統自動(dòng)的實(shí)時(shí)記錄清洗工藝參數及溫度曲線(xiàn)、時(shí)間、報警相關(guān)數據,保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統,具有優(yōu)異的穩定性與可重復性,多樣化可選氣體配置,靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案滿(mǎn)足不同類(lèi)型產(chǎn)品的清洗工藝要求。

                    等離子清洗與濕法清洗工藝相比,等離子清洗不需要使用強酸、強堿等溶液,不需要后期的烘干過(guò)程,也無(wú)廢水處理的要求,是一種簡(jiǎn)單高效、經(jīng)濟環(huán)保、無(wú)二次污染的清洗方法。通過(guò)等離子清洗可以改善了材料表面的潔凈度、親水性和潤濕性,增加基材表面的極性,去除基板表面的沾污和有機物。


                    產(chǎn)品參數

                    型號NE-PE60F
                    等離子頻率13.56MHz 自動(dòng)阻抗匹配
                    極限真空度10Pa
                    功率0-500W可調
                    腔體材質(zhì)316不銹鋼/鋁合金(可選)
                    腔體尺寸400(W)*450(D)*370(H)mm
                    腔體容積66L
                    單層有效處理面積W360mm x D370mm
                    氣路數量2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等,腐蝕性氣體需提前說(shuō)明
                    處理層數6層(可定制)
                    控制方式PLC+觸摸屏
                    真空泵油泵/干泵(可選)
                    電源AC380V,50/60Hz
                    外形尺寸905mm(L)×1070mm(W) ×1740 mm(H)


                    產(chǎn)品應用

                    01

                    金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗

                    金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗

                    02

                    塑封(Molding)前的等離子清洗

                    塑封(Molding)前的等離子清洗

                    03

                    改善粘接性

                    改善粘接性

                    04

                    提升親水性

                    提升親水性

                    05

                    光刻膠的去除

                    光刻膠的去除

                    06

                    表面粗化與微蝕

                    表面粗化與微蝕

                    應用案例

                    產(chǎn)品推薦

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