2.45Ghz 微波等離子清洗機
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

                    微波等離子清洗機,設備結構由五部分組成:外殼框架系統、微波放電系統、真空系統、供氣系統和控制系統。該設備控制方式為工控機+PLC,操作方式包括自動(dòng)模式和手動(dòng)模式,在自動(dòng)模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時(shí)存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過(guò)載報警、反應倉泄露率過(guò)大報警等安全功能。

                    微波等離子清洗作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。微波等離子清洗與低頻或射頻放電產(chǎn)生的等離子體相比,相對于前兩者,微波等離子清洗機的優(yōu)點(diǎn)在于:(1)無(wú)內部電極,可避免放電污染,能量轉換效率高,可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體;(2)無(wú)損傷工藝,自偏壓極??;(3)高電子密度,制備各種功能薄膜材料的速率較快;(4)離子沖擊小,對器件的損傷??;(5)不產(chǎn)生紫外線(xiàn)輻射。

                    正是因為具有以上優(yōu)點(diǎn),微波等離子在一些工藝中具有不可替代性,例如一些電敏感器件制程中的去膠和清洗。由于激發(fā)頻率高,離子動(dòng)能小,化學(xué)等離子作用在微波等離子中占主要部分,可以實(shí)現更均勻有效地清洗,在清洗中沒(méi)有物理等離子體所產(chǎn)生的物理沖擊和濺射現象,在高可靠性要求的器件尤其是敏感電路的制程清洗過(guò)程中,微波等離子清洗機成為關(guān)鍵首選的設備。

                    產(chǎn)品參數

                    型號NE-MP80
                    外形尺寸1000(L)×900(W)×1900(H)mm
                    腔體尺寸400(L)×500(W)×400(H)
                    等離子體發(fā)生器頻率2.45GHz,功率0-1000W可調
                    腔體材質(zhì)航空鋁合金
                    電極規格底部裝有可旋轉托盤(pán),倉體右側安裝陶瓷基板,用于擴散微波
                    真空系統雙級真空泵,進(jìn)口氣動(dòng)角閥、充氣閥,高精度真空計
                    氣路系統標配三路工藝氣體,帶質(zhì)量流量計,氣體流量0-200ml/min可調
                    控制系統觸摸屏+PLC全自動(dòng)控制,手動(dòng)+自動(dòng)兩種操作模式
                    輸入電壓380V


                    產(chǎn)品應用

                    01

                    光刻膠底膜去除

                    光刻膠底膜去除

                    02

                    氧化物還原

                    氧化物還原

                    03

                    表面有機污染物去除

                    表面有機污染物去除

                    04

                    表面活化改性

                    表面活化改性

                    05

                    封裝鍵合前清洗

                    封裝鍵合前清洗

                    06

                    表面親水性提升

                    表面親水性提升

                    產(chǎn)品推薦

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