首頁(yè) / 產(chǎn)品中心 / 等離子去膠機 / 等離子去膠機NE-PE13F

                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

                    NE-PE13F是一款高性?xún)r(jià)比的干法去膠設備,可用于尺寸8英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理。等離子去膠的工作原理是將覆有光刻膠的外延片/晶圓放置于真空反應系統中,通入少量氧氣,利用電壓放電,把氧氣(O2)電離成激發(fā)態(tài)的氧原子(O),然后氧原子和抗蝕劑中的C和H快速反應,生成CO、CO2和H2O等揮發(fā)性氣體,用真空泵抽走,以達到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡(jiǎn)單、去膠效率高、去膠后晶圓表面干凈光潔而且無(wú)劃痕、成本低、環(huán)保,有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

                    產(chǎn)品參數

                    型號NE-PE13F
                    功率0-300W可調
                    頻率13.56 MHz自動(dòng)阻抗匹配
                    腔體尺寸240(L)*280(D)*200(H)mm
                    腔體有效處理面積230(L)×205(D)mm
                    腔體容積13.5L
                    處理產(chǎn)品尺寸可處理8寸晶圓,向下兼容6寸,4寸晶圓
                    腔體材質(zhì)316 鏡面不銹鋼
                    極限真空度1PA
                    氣路數量3路耐腐蝕,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等
                    外形尺寸600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)
                    電源供應220V


                    產(chǎn)品應用

                    01

                    硅片清洗

                    硅片清洗

                    02

                    晶圓去膠

                    晶圓去膠

                    03

                    有機物清洗

                    有機物清洗

                    04

                    親水性提升

                    親水性提升

                    05

                    表面微刻蝕

                    表面微刻蝕

                    06

                    表面活化改性

                    表面活化改性

                    應用案例

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